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SPPL聚丙烯膜CMP漿液過濾濾芯

SPPL 系列 CMP 漿液過濾聚丙烯折疊濾芯在微電子器件的化學機械拋光中,始終為需要拋光的工件提供均勻的拋光漿料，以優(yōu)化晶片的整體平面化，提高晶片質量。獨特的熔噴材料形成等級分布顆粒物的效果，尤其適合氧化鋁和氧化硅拋光漿料的過濾。

該濾芯材料在空間形成三維微孔結構，微孔孔徑沿濾液方向呈梯度分布，可以截留不同粒徑，孔徑范圍完全匹配 CMP氧化物拋光漿料和金屬物拋光漿料的粒徑，不僅提高了過濾效率，而且解決了濾芯易阻塞的問題，延長了濾芯的使用壽命。

特征

沿濾液方向的梯度孔徑分布，保證拋光漿料的品質，并延長漿料的使用壽命。

所有濾芯兼容性極佳，無論是酸性還是堿性漿料，均可過濾。

漏斗狀的過濾結構，對可能造成晶片表面?zhèn)Φ膱F狀顆粒敏感。

為CMP流程提供嚴格的質量保證。

去除漿料中的大粒徑離子及成團的異質顆粒，提高晶片的成品率。

過濾面積大，高過濾效率。

熱熔法密封結構，密封性良好。

輝龍過濾的全面質量管理體系保證濾芯品質。

濾芯沿濾液方向的梯度孔徑分布結構，適合各種不同的拋光漿料，應用范圍廣。

通用性好，適合各種標準或者類似的壓力容器過濾器。